2019年10月23日,Paul Scherrer大学Yasin Ekinci教授来到材料与工程学院进行报告会,报告题目为《EUV lithography and metrology for more Moore》。
简介——Yasin Ekinci是Paul Scherrer大学微型与纳米技术实验室的代理主管和高级光刻与计量学组的主管。于2003年在德国哥廷根的马克斯-普朗克动力学与自组织研究所获得博士学位。2004年,加入Paul Scherrer大学担任博士后研究员。2006—2012年,先后担任博后研究员和苏黎世联邦理工学院材料系高级科学家和讲师。2009年起,在Paul Scherrer大学研究纳米科学和技术,包括EUV光刻,抗蚀剂材料,无透镜成像,等离激元,半导体纳米结构和纳米流体。共发表了200余篇论文和5项专利。
参考资料:
1. YasinEkinci | LMN | Paul Scherrer Institut (PSI) https://www.psi.ch/en/lmn/people/yasin-ekinci